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트리스(디메틸아미노)사이클로펜타디에닐 지르코늄

CAS: 33271-88-4
화학식/약어: CpZr

트리스(디메틸아미노)사이클로펜타디에닐 지르코늄 안정성과 증기압이 우수할 뿐만 아니라 반응성도 우수합니다. 탄화수소, 사염화탄소 등의 유기용매에 용해되며 다음과 같은 용도로 사용할 수 있습니다. 지르코늄 산화물 박막을 제조하기 위한 CVD 또는 ALD 기술.
 
동의어: CpZr(NMe2)3 CpTDMAZ, CPTDMAZ2, 트리스(디메틸아미노)사이클로펜타디에닐지르코늄, 사이클로펜타디에닐 트리스(디메틸아미노)지르코늄, (사이클로펜타디에닐)지르코늄 트리스(디메틸아미드)
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