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디(t-부틸아미노)실란

CAS: 186598-40-3
화학식/약어: BTBAS

디(t-부틸아미노)실란은 (BTBAS)의 일종입니다. 실란 커플링제. BTBAS는 화학 증기-액체 화학의 전구체이며 균일한 질화규소를 증착할 수 있습니다. 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 질화규소박막, 반도체소자및 얕은 트렌치 절연막.
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