트리스(디메틸아미노)사이클로펜타디에닐 하프늄 기본 속성
| 동의어 | 시클로펜타디에닐 트리메톡시 하프늄(IV);CpHf(NMe2)3;CpHf; 트리스(디메틸아미노)사이클로펜타디에닐하프늄;사이클로펜타디에닐 트리스(디메틸아미노)하프늄 |
| 분자식 | C11H18HfN3 |
| 모습 | 저융점 고체 또는 밝은 색상의 액체 |
| 분자량 | 370.78 |
| 용해도 | 알칸, 에테르, 알켄과 같은 일반적인 유기 용매에 쉽게 용해됩니다. |
| 패키지 정보 | 100g, 500g, 1kg 또는 맞춤형 |
| 청정 | ≧ 98% |
| 패키지 정보 | 100g, 500g, 1kg 또는 맞춤형 |
트리스(디메틸아미노)사이클로펜타디에닐 하프늄 주요 특징
높은 변동성
CpHf는 ALD/CVD 공정에 적합한 증기압을 갖고 있어 더 낮은 온도에서도 안정적인 증발이 가능합니다. 이는 HfO2 필름 증착 시 우수한 공정 호환성을 제공하여 보다 균일하고 밀도가 높은 필름 구조에 기여합니다.
우수한 열 안정성
Tris(Dimethylamino)Cyclopentadienyl Hafnium은 반응 온도 범위 내에서 제어 가능한 분해 거동, 높은 열 안정성, 증착 결함 감소, 효과적으로 낮은 탄소 및 질소 불순물 함량을 나타냅니다.
고순도
업계에서는 일반적으로 박막 제조를 위한 고급 공정(예: 28nm 이하)의 요구 사항을 충족하기 위해 5N(99.999%) 이상의 순도 수준을 제공하며, 이는 유전층의 파괴 강도와 결정 구조의 품질을 향상시키는 데 도움이 됩니다.
다양한 증착 공정에 적합
CpHf는 ALD(원자층 증착) 및 MOCVD(유기 금속 CVD)에 사용할 수 있으므로 웨이퍼 파운드리에서는 장비 성능에 따라 유연하게 선택할 수 있습니다.
Tris(Dimethylamino)Cyclopentadienyl Hafnium 주요 용도
고유전율 유전체
Tris(Dimethylamino)Cyclopentadienyl Hafnium은 기존 SiO2 게이트 유전체를 대체하는 데 사용되는 주류 HfO2 전구체로, 고급 공정에서 더 낮은 누설 전류와 더 높은 게이트 유전체 성능을 유지합니다.
하프늄 박막 및 복합산화물 증착
HfN, HfSiO, HfAlO 등의 기능성 박막 제조에 적합하며, 배리어층, 절연층, 고온 구조재료로 사용 가능합니다.
메모리 유전체층
CpHf의 뛰어난 필름 균일성으로 인해 CpHf는 주류 메모리 제조에서 대체할 수 없는 하프늄 원료로 사용되며 데이터 보존 및 장치 신뢰성을 향상시키는 데 사용됩니다.
반도체 전단 웨이퍼 공정
FinFET 및 GAA와 같은 트랜지스터 구조용 유전체 재료의 증착을 포함하여 이 프로세스는 고급 프로세스 노드에 전략적으로 매우 중요합니다.
지침
CpHf는 수분과 산소에 매우 민감합니다. 노출되면 급속하게 분해되어 아민 가스를 방출하여 제품 고장을 일으킬 수 있습니다. 불활성 가스(N2/Ar) 보호 하에 취급해야 합니다.
증기압 특성의 변화를 방지하기 위해 직사광선과 온도 변화를 피하십시오.
ALD/CVD 공정에서는 반응 챔버를 오염시키는 잔류 수분을 방지하기 위해 가열되고 건조한 상태로 유지되는 공급 라인을 사용해야 합니다.
강한 산화제는 격렬한 반응을 일으킬 수 있으므로 함께 보관하면 안 됩니다. 밀봉된 용기에 담아 수직으로 세워서 운송해야 합니다.
FAQ
1. 트리스(디메틸아미노)사이클로펜타디에닐 하프늄은 어떤 역할을 합니까?
이는 반도체 산업의 주류 하프늄 금속-유기 전구체로, 고유전율 HfO2 박막의 ALD/CVD 증착에 사용됩니다.
2. 하프늄 산화물 박막을 증착할 때 CpHf와 함께 일반적으로 어떤 반응 소스가 사용됩니까?
가장 일반적으로 사용되는 공동반응 소스는 물, 오존 및 산소 플라즈마입니다. 물과의 반응은 상대적으로 온화하고 제어하기 쉽습니다. 오존과의 반응은 더 낮은 온도에서 고품질 필름을 생성할 수 있지만 오존은 강력한 산화제입니다. 산소 플라즈마는 증착 온도를 낮추고 필름 밀도를 향상시킬 수 있습니다. 선택은 특정 장비 기능과 프로세스 목표에 따라 달라집니다.
3. 다른 Hf 전구체와 비교하여 CpHf의 장점은 무엇입니까?
CpHf는 증발 온도 범위가 더 적당하고 막 순도가 높으며 잔류 탄소 함량이 낮아 고급 노드 공정에 적합합니다.
4. 제품은 어떻게 포장되나요?
일반적으로 주문제작한 금속용기나 기상배달용병을 사용하며, 운송 및 보관시 안정성을 확보하기 위해 불활성가스를 사용하여 밀봉합니다.
Wolfa는 CpHf를 전문적으로 공급하여 소규모 배치 샘플링 및 대량 조달 요구 사항을 지원합니다. 포장 옵션에는 일반 유리병, 유리 앰플, 금속 앰플 등이 포함됩니다.
제품 분석 보고서(COA 등)나 조달 컨설팅이 필요하시면 로 문의해 주세요 . 언제든지 jomin@wolfabio.com
