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Dicarbonylcyclopen-Tadienyl Cobalt

CAS : 12078-25-0
화학식: CpCo(CO)₂

디카르보닐시클로펜-타디에닐코발트 안정적인 카르보닐 구조와 탁월한 반응성을 지닌 휘발성 코발트 전구체로 상호 연결 응용 분야에 적합한 등각, 저저항 필름을 생산할 수 있습니다. 그것은 널리 사용됩니다 첨단 반도체 제조에서 박막 증착을 위한 ALD 및 CVD 공정, 재료 과학 및 유기 금속 화학에서 중요한 역할을 합니다.
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