테트라키스(디메틸아미노) 티타늄 기본 특성
성상 : 노란색~주황색 액체
분자량 : 224.17
녹는점 : <4°C
끓는점 : 50 °C0.5 mm Hg(lit.)
밀도 : 25 °C(lit.)에서 0.947 g/mL
보관 조건 : 가연성 지역
용해도 : 헥산, 톨루엔 등과 같은 다양한 유기 용매에 용해됩니다. 물과 접촉하면 이산화티타늄과 디메틸아민으로 분해됩니다.
안정성 : 습기에 민감하여 불활성 가스 환경에서 밀봉하여 보관해야 함
테트라키스(디메틸아미노) 티타늄 주요 특징
높은 순도와 반응성
테트라키스(디메틸아미노) 티타늄은 일반적으로 99.9%가 넘는 순도를 갖고 있어 반도체 증착 중 효율적인 반응과 균일한 박막 생산을 보장합니다.
우수한 열 안정성
넓은 온도 범위에서의 안정성은 CVD 및 ALD 공정 중에 제어 가능한 기화 성능을 보장하므로 산업 생산에 적합합니다.
높은 변동성
이 화합물은 상대적으로 낮은 온도에서 효율적으로 기화되어 증착 시스템 내에서의 이동을 촉진하고 증착 속도를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
다양한 기판 재료와 호환 가능
테트라키스(디메틸아미노) 티타늄은 실리콘, 산화알루미늄, 질화규소 등 다양한 기판 소재에 대한 박막 증착에 사용할 수 있어 강력한 호환성을 보여줍니다.
테트라키스(디메틸아미노) 티타늄 주요 용도
반도체 산업
티타늄 금속 또는 이산화티타늄 박막을 증착하기 위한 ALD/CVD 공정과 마이크로전자 부품 제조에서 티타늄 소스 전구체로 사용됩니다.
광전자 재료
광학 코팅 및 태양전지 소재에 테트라키스(디메틸아미노) 티타늄을 사용하면 고굴절률 TiO2 필름을 생성하여 광에너지 변환 효율을 향상시킬 수 있습니다.
보호 코팅
증착에 의해 형성된 Ti계 피막은 경도와 내식성이 뛰어나 정밀기기, 절삭공구의 표면처리에 적합합니다.
R&D 및 재료과학
티타늄 기반 나노소재, 촉매 지지체, 신박막 소재 연구에 널리 사용됩니다.
지침
테트라키스(디메틸아미노) 티타늄은 물과 쉽게 반응하여 암모니아와 이산화티타늄 침전을 생성합니다. 따라서 건조한 불활성 가스(예: 아르곤 또는 질소)에서 보관해야 합니다.
고온에서 분해되어 유해한 가스를 방출할 수 있습니다. 열과 화기로부터 멀리 두십시오.
부식 방지 특수 용기를 사용하여 밀봉한 후 서늘하고 통풍이 잘 되는 화학물질 창고에 보관하는 것이 좋습니다.
누출이 발생한 경우 건조된 불활성 흡착제(실리카겔 등)를 사용하여 흡수시키고, 물로 세척하지 마십시오.
실수로 피부에 닿은 경우 즉시 다량의 물로 15분 이상 씻어낸 후 의사의 진료를 받으십시오.
FAQ
1. 본 제품의 순도가 필름 품질에 영향을 미치나요?
예. 테트라키스(디메틸아미노) 티타늄의 순도가 높을수록 필름의 균일성, 밀도 및 유전 특성이 좋아집니다. 따라서 고순도 등급(>99.9%)을 사용하는 것이 좋습니다.
2. 보관 중에 불활성 대기를 사용하는 이유는 무엇입니까?
이 화합물은 공기 중의 수분과 반응성이 높기 때문에 불활성 분위기가 효과적으로 분해를 방지하고 제품의 유효 기간을 연장시킵니다.
자세한 내용을 알아보거나 테트라키스(디메틸아미노) 티타늄을 구매하려면 이메일이나 WhatsApp을 통해 언제든지 문의해 주세요.
