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트리스 (N- 메틸 에탄 아미 나토) [(2- 메틸 -2- 프로파 닐) 이미노] 니오 비움

화학식: TBTEMN
CAS : 864150-47-0

트리스(N-메틸에탄아미나토)[(2-메틸-2-프로파닐)이미노]니오븀(TBTEMN) 열안정성이 뛰어나고 휘발성이 좋으며 화학반응성이 뛰어난 유기니오븀 복합체입니다. 달성하기 위한 최적의 전구체로 널리 인식되고 있습니다. 저온 고품질 질화니오븀 박막 성장 ALD 공정에 사용되며 마이크로전자공학, 광전자공학, 나노재료 분야에서 중요한 기능성 소재입니다.
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