트리메틸알루미늄 기본 속성
| 분자식 | C3H9Al |
| 모습 | 무색 액체 |
| 분자량 | 72.09 |
| 녹는점 | 15°C |
| 비등점 | 126°C |
| 밀도 | 25°C에서 0.81g/mL |
| 증기압 | 69.3mmHg(60°C) |
| 용해도 | 방향족 탄화수소, 포화 지방족 탄화수소, 지환족 탄화수소 및 에테르와 같은 유기 용매에 용해됩니다. |
| 청정 | ≥4N |
| 보관 조건 | 0~6°C |
트리메틸알루미늄 주요 특징
고순도
Wolfa는 최대 99% 순도의 트리메틸알루미늄을 제공합니다. 이 엄격하게 정제된 화합물은 극히 낮은 수준의 금속 불순물을 함유하고 있어 고급 반도체 응용 분야의 신뢰성을 보장합니다.
높은 반응성
높은 반응성은 온화한 조건에서 많은 어려운 화학적 변형을 가능하게 하여 의약품 및 특수 화학 물질의 합성을 위한 강력한 도구를 제공합니다.
탁월한 ALD 공정 성능
TMA는 물, 오존과 같은 산소 함유 소스와의 고도로 자체 제한적인 반응을 통해 ALD 기술을 사용하여 산화알루미늄 박막을 증착하기 위한 '최적 표준' 전구체가 됩니다. 빠르게 반응하여 균일성, 등각성 및 절연 특성이 뛰어난 필름을 생성합니다.
박막 증착을 촉진합니다.
높은 휘발성과 안정성으로 인해 TMA는 박막 증착 공정의 품질과 효율성을 효과적으로 향상시켜 균일하고 효율적인 필름 증착을 보장할 수 있습니다.
트리메틸알루미늄 주요 용도
반도체 장치용 ALD 패시베이션 및 게이트 유전층
반도체 제조에서 트리메틸알루미늄과 물의 순환을 통해 증착된 산화알루미늄 박막은 트랜지스터의 고유전율 게이트 유전체와 칩 표면의 패시베이션 보호층으로 널리 사용됩니다. 이 필름은 나트륨 이온과 같은 오염 물질을 효과적으로 차단하여 장치 신뢰성과 안정성을 크게 향상시킵니다.
유기 합성 및 중합 촉매
TMA는 메틸기를 화합물에 도입하거나 특정 화학 결합을 활성화하고 Diels-Alder 반응을 촉진하는 강력한 루이스 산 촉매로 사용되는 중요한 유기 합성 시약입니다.
나노기술 및 기능성 코팅
ALD 기술을 사용하면 이 화합물을 사용하여 다양한 복잡한 나노 구조 재료의 표면을 매우 얇고 균일한 산화알루미늄 껍질로 코팅할 수 있습니다. 이 층은 확산 장벽, 패시베이션 층 또는 후속 기능화를 위한 기판 역할을 할 수 있으며 센서 및 촉매 작용 분야에서 광범위한 응용 분야를 갖습니다.
지침
트리메틸알루미늄은 공기 및 물과 격렬하게 반응하므로 모든 작업은 공기 및 습기로부터 엄격하게 격리된 시스템(예: 글러브 박스 또는 밀봉된 운반 시스템)에서 수행되어야 합니다.
시스템과 실린더는 사용하기 전에 철저한 누출 테스트를 거쳐 불활성 가스로 퍼지되어야 합니다.
활성 수소 또는 산화 물질(예: 산화제, 물, 알코올 등)을 함유한 물질과의 접촉을 엄격히 금지합니다. 혼합하면 화재나 격렬한 폭발이 발생할 수 있습니다.
TMA를 취급할 때는 안면 보호구, 보호복, 내화학성 장갑 등 적절한 개인 보호 장비를 착용해야 합니다.
포장 및 배송 시스템
우리는 TMA의 경우 패키지가 화학물질만큼 중요하다는 것을 알고 있습니다.
실린더 유형 : 표준 스테인리스강 버블러(150ml, 450ml, 1L) 및 벌크 실린더로 제공됩니다.
연결 : 누출 제로를 보장하기 위해 무결성이 높은 VCR® 또는 Swagelok® 밸브가 장착되어 있습니다.
안전 제일 : 엄격한 불활성 대기 보호 하에 UN 승인 컨테이너(UN 3394)로 배송됩니다.
FAQ
1. 반도체 제조에 트리메틸알루미늄을 적용하는 방법은 무엇입니까?
이는 일반적으로 AlGaAs 및 AlN과 같은 III-V 반도체 재료의 제조에 사용되며 마이크로전자공학 및 광전자공학 장치의 제조에 널리 사용됩니다.
2. 고화된 TMA 실린더는 어떻게 처리해야 합니까?
절대로 화염이나 증기로 직접 가열하지 마십시오. 올바른 방법은 전체 실린더를 온도가 조절되고 통풍이 잘 되는 안전한 장소(예: 안전 오븐)로 옮기는 것입니다. 불활성 분위기에서 천천히 20~30°C로 가열하고 가끔 실린더를 부드럽게 굴려 균일한 가열을 보장합니다. 갑작스러운 압력 증가를 유발할 수 있는 국부적인 과열을 방지하려면 이 프로세스를 주의 깊게 수행해야 합니다.
더 자세한 정보나 트리메틸알루미늄(TMA) 구매를 원하시면 언제든지 로 연락주세요. jomin@wolfabio.com .
