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트리스(디메틸아미노)실란丨CAS 15112-89-7

CAS: 15112-89-7
화학식/약어: TDMAS

트리스(디메틸아미노)실란 안정성이 좋고 증기압이 높을 뿐만 아니라 상당한 반응성을 나타냅니다. 그러므로, 그것은 널리 사용됩니다 SiO2 증착 연구를 위한 현재 ALD 방법의 전구체 소스.
 
동의어: TDMAS, 3DMAS, LS 1460, 아미노)siL, (Me2N)3SiH, 3DMAS: [(CH3)2N]3SiH, 트리스(디메틸아미노)실란, 트리(디메틸아미노)실란, TRIS(DIMETHYLAMINO)실란, 트리스(디메틸아미도)실란
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